개최된 ‘나노코리아 2022’에 참가해 반도체 및 전자 부품 제조 공정 환경을 견딜 수 있는 세라믹 활용 부품들을 전시했다.
세라믹 소재는 흙을 구워 도자기, 유리, 벽돌, 시멘트 등을 만드는 전통 세라믹 산업에서 더 나아가 반도체, 사물인터넷(IoT), 센서 등 첨단 전자산업의 핵심 소재로 주목받고 있다.
반도체 제조 공정 장비 중 CVD(화학기상증착공법), ALD(원자층증착공법), 스퍼터(진공 및 물리적 증착공법) 등의 장비는 고온·고압 등의 환경에서 진행된다. 장비 내부를 구성하는 부품들은 이러한 환경을 견뎌야 하기 때문에 고온·부식·화학작용 등에 대한 내성이 뛰어난 세라믹 소재가 각광을 받고 있다.
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